Характеристики

Ускоряющее напряжение                                   от 500 до 2000V
Ток луча                                                                   от 0.2 до 1nA
Разрешение                                                           <10nmat1000V
Увеличение *                                                         от  250 до 65 000x
Цифровой зум                                                       10х
Поле сканирования                                             1 х 1 мм (макс.)
Источник электронов                                           полевая эмиссия  Шоттки
Детектор режима                                                   SE, BSE, Topo

Образец

Размер образца                                                      100x 60 мм (макс.)
Толщина образца                                                  30 мм (макс.)
Видимая область                                                  50x30 мм (макс.)
Крепление образца                                              стандартные держатели SEM

Система управления

ПК Windows 7
Основной пользовательский интерфейс      захват  и контроль изображения
Пользовательском интерфейс эксперта        оптимизация изображения
Поддержка графических форматов                JPEG, TIFF, BMP, PNG
Разрешение изображения                                Выбирается пользователем до 2048 x

2048 пикселей

Скорость сканирования                                     медленное сканирование/ видео 
Сокращение шумов                                             усреднение по кадрам и пикселям 
Цифровое  видео                                                 записи в режиме реального времени 

Моторизованный стол

Стол с пьезоприводом                                        1 мкм точность позиционирования
X, Y, Z диапазон перемещений                                     50x50x10mm

Вакуумная система

Уровень вакуума в камера                                  1 e4Torr
Время откачки                                                        3 минуты
Производительность турбонасоса                  80 литров в секунду
СВВ насос ионный насос с геттерированием

Габариты

Микроскоп 584 (Ш) х 470 (Д) x584 (H) мм; 72kq
Насос 203 (Ш) х 254 (Д) х 203 (В) мм, 4 кг

Требования к помещению

Мощность электропитания                                100/120/220-240VAC, 50/60Гц
Температура рабочей комнаты                        от 5до 40 ° C
Влажность воздуха                                              от 20 до 80%
Сжатый воздух не требуется
Сухой азот не требуется **
Водяное охлаждение не требуется