Sindre® - нано литографическая печатная система для производства
Sindre® 400 / 600 / 800 нано печатные литографические (NIL) системы предназначены для полностью автоматизированного высоко-объемного производства, с использованием запатентованного Obducat IPS®/STU® процесса. Эффективность затрат и контроль загрязнений достигается путем автоматизированного управления и продуманной процедуры обслуживания от кассеты к кассете. Высокие пропускная способность и выход годного позволяют получать необычно низкую себестоимость производства. В стандартной конфигурации пропускная способность системы до 30 пластин в час.
Sindre® 60 нано печатная литографическая (NIL) система предназначена для полуавтоматического производства, с использованием запатентованного Obducat IPS®/STU® процесса. Система генерирует пропускную способность печати 12 циклов в час.
Sindre® для высоко-объемного производства
Стандартная конфигурация Sindre® включает в себя три запатентованных технологии
Soft Press®
С Obducat Soft Press ® технологией давление передается на штамп и подложку с помощью сжатого воздуха, обеспечивая равномерное давление по всей площади отпечаток. Это позволяет обеспечивать соответствие штампа и подложки, ликвидируя негативные последствия от разнотолщинности, изгиба или волнистости штампа или подложки. Soft Press ® обеспечивает тонкий и равномерный остаточный слой на больших площадях, что является ключевым моментом для печати высокого разрешения и точной передачи модели.
STU®
Запатентованная синхронная тепловая и ультрафиолетовая (STU®) технология позволяет синхронно комбинировать тепловую и ультрафиолетовую нано литографию с использованием УФ термопластичных полимеров и будет проводиться при постоянной температуре. Используя уникальную технологию STU®, можно избежать проблем, связанных с несоответствием теплового расширения между штампом и подложкой. В STU® процессе используется технология вращающихся полимеров, позволяющая контролировать первоначальную толщину и однородность полимерного покрытия, необходимых для достижения тонкого и равномерного остаточного слоя.
IPS®
Запатентованная технология промежуточного полимерного штампа (IPS®) позволяет контролировать загрязнение и увеличивает время жизни мастер-штампа, используя двух этапный процесс, избегая контакта между мастер-штампом получаемой подложкой. Вместо этого, мастер-штамп копируется в мягкий промежуточный полимерный штамп и это трансформирует структуру в целевую подложку.
Sindre® 60 для полуавтоматического производства
Sindre® 60 | Sindre® 400 | Sindre® 600 | Sindre® 800 | |
Зона принта | до 6 дюймов | 2,3,4 дюйма | до 6 дюймов | до 8 дюймов |
Пропускная способность | 12 циклов/час | 30 пластин/час | 30 пластин/час | 30 пластин/час |
Совместимость помещения | класс 100 | класс 100 | класс 100 | класс 100 |
Микроклимат | класс 10 | класс 10 | класс 10 | класс 10 |
Обработка подложки | полуавтомат. | кассета/кассета | кассета/кассета | кассета/кассета |
Контролируемый компьютером интерфейс пользователя | стандарт | стандарт | стандарт | стандарт |
STU® | стандарт | стандарт | стандарт | стандарт |
IPS® | стандарт | стандарт | стандарт | стандарт |