Sindre® - нано литографическая печатная система для производства

Sindre Nano Imprint Lithography system for production
Sindre® 400 / 600 / 800 нано печатные литографические (NIL) системы предназначены для полностью автоматизированного высоко-объемного производства, с использованием запатентованного Obducat IPS®/STU® процесса. Эффективность затрат и контроль загрязнений достигается путем автоматизированного управления и продуманной процедуры обслуживания от кассеты к кассете. Высокие пропускная способность и выход годного позволяют получать необычно низкую себестоимость производства. В стандартной конфигурации пропускная способность системы до 30 пластин в час.

Sindre® 60 нано печатная литографическая (NIL) система предназначена для полуавтоматического производства, с использованием запатентованного Obducat IPS®/STU® процесса. Система генерирует пропускную способность печати 12 циклов в час.

Sindre® для высоко-объемного производства

 Стандартная конфигурация Sindre® включает в себя три запатентованных технологии

Soft Press®

С Obducat Soft Press ® технологией давление передается на штамп и подложку с помощью сжатого воздуха, обеспечивая равномерное давление по всей площади отпечаток. Это позволяет обеспечивать соответствие штампа и подложки, ликвидируя негативные последствия от разнотолщинности, изгиба или волнистости штампа или подложки. Soft Press ® обеспечивает тонкий и равномерный остаточный слой на больших площадях, что является ключевым моментом для печати высокого разрешения и точной передачи модели.

STU®

Запатентованная синхронная тепловая и ультрафиолетовая (STU®) технология позволяет синхронно комбинировать тепловую и ультрафиолетовую нано литографию с использованием УФ термопластичных полимеров и будет проводиться при постоянной температуре. Используя уникальную технологию STU®, можно избежать проблем, связанных с несоответствием теплового расширения между штампом и подложкой. В  STU® процессе используется технология вращающихся полимеров, позволяющая контролировать первоначальную толщину и однородность полимерного покрытия, необходимых для достижения тонкого и равномерного остаточного слоя.

IPS® 

Запатентованная технология промежуточного полимерного штампа (IPS®) позволяет контролировать загрязнение и увеличивает время жизни мастер-штампа, используя  двух этапный процесс, избегая контакта между мастер-штампом получаемой подложкой. Вместо этого, мастер-штамп копируется в мягкий промежуточный  полимерный штамп и это трансформирует структуру в целевую подложку.

 Sindre Nano Imprint Lithography system for production

Sindre® 60 для полуавтоматического производства

  Sindre® 60 Sindre® 400 Sindre® 600 Sindre® 800
Зона принта до 6 дюймов 2,3,4 дюйма до 6 дюймов до 8 дюймов
Пропускная способность 12 циклов/час 30 пластин/час 30 пластин/час 30 пластин/час
Совместимость помещения класс 100 класс 100 класс 100 класс 100
Микроклимат класс 10  класс 10  класс 10  класс 10 
Обработка подложки полуавтомат. кассета/кассета кассета/кассета кассета/кассета
Контролируемый компьютером интерфейс пользователя стандарт стандарт стандарт стандарт
STU® стандарт стандарт стандарт стандарт
IPS® стандарт стандарт стандарт стандарт