Манипулятор с 4 осями
Описание
Манипулятор с 4 осями обладает высокой точностью и устойчивостью, имеет модульную конструкцию и совместим с диапазоном перемещений по осям X, Y, Zи R1. Модульная конструкция подразумевает возможность замены или модификации отдельных компонентов системы. Все оси манипулятора управляются вручную с помощью маховика, микрометров или устройств для ввода вращения. Стандартный крепительный фланец DN 100CF или DN 160CF. Манипулятор с 4 осями является комбинацией XY столика, Z слайдера и вращающегося столика.
Применение
Манипуляторы с 4 осями используются для управления держателями образцов и сопутствующими инструментами. Использование манипуляторов вместе с держателями образцов позволяет осуществлять точное позиционирование и контроль образцов в условиях сверхвысокого вакуума. Манипуляторы обеспечивают передвижение образца по осям X,Y,Z, а механизм вращения – вращение R1 вокруг Z оси. Работа в любой ориентации.
Дополнительная информация
Манипуляторы с 4 осями имеют приемную станцию образцов, принимающую один из диапазонов моделей PTS держателей образцов. Станция оборудована 6 электрическими контактами.
Технические характеристики
| Positional control X, Y | Micrometer |
| Positional control Z | Handwheel |
| Positional control R1 | Rotary feedtdrough |
| Pressure range | 1 bar to 10-11 mbar |
| Operating temperature | -25°C to +60°C |
| Bakeout temperature | 150°C |
| Standard base flange | DN 100CF or DN 160CF |
| Travelling flange | DN 40CF or DN 63CF |
| XY range | ± 12.5 mm |
| Resolution (manual/motorised) | 5 μm / 1 μm |
| Z range | 75 ÷ 800 mm |
| Resolution (manual/motorised) | 50 μm / standard 10 μm (1 μm on request) |
| R1 Range | ± 180° |
| Resolution (manual) | 0.5° / 0.1° |