Манипулятор с 5 осями
Описание
Манипулятор с 5 осями обладает высокой точностью и устойчивостью, имеет модульную конструкцию и совместим с диапазоном перемещений по осям X, Y, Z, R1 и R2. Модульная конструкция подразумевает возможность замены или модификации отдельных компонентов системы. Все оси манипулятора моторизованы. Оси X, Y и Z могут управляться механически. Стандартный крепительный фланец DN 100CF или DN 160CF. Манипулятор с 5 осями является комбинацией XY столика, Z слайдера и вращающихся столиков.
Применение
Манипуляторы с 5 осями используются для управления держателями образцов и сопутствующими инструментами. Использование манипуляторов вместе с держателями образцов позволяет осуществлять точное позиционирование и контроль образцов в условиях сверхвысокого вакуума. Манипуляторы обеспечивают передвижение образца по осям X,Y,Z, а механизмы вращения – вращение R1 и R2 вокруг осей Z и Y. Работа в любой ориентации.
Дополнительная информация
Манипуляторы с 4 осями имеют приемную станцию образцов, принимающую один из диапазонов моделей PTS держателей образцов. Станция оборудована 6 электрическими контактами.
Технические характеристики
| Positional control X, Y | Micrometer or stepping motor |
| Positional control Z | Handwheel or stepping motor |
| Positional control R1 | Stepping motor |
| Positional control R2 | Stepping motor |
| Pressure range: | 1 bar to 10-11 mbar |
| Operating temperature | -25°C to +60°C |
| Bakeout temperature | 150°C |
| Standard base flange | DN 100CF or DN 160CF |
| Travelling flange | DN 40CF or DN 63CF |
| XY Range | ± 12.5 mm |
| Resolution (manual / motorised) | 5 μm / 1 μm |
| Z Range | 75 - 800 mm |
| Resolution (manual / motorised) | 50 μm / standard 10 μm (1 μm on request) |
| R1 Range | ± 180° |
| Resolution (motorised) | 0.1° |
| R2 Range | 360° continuous |
| Resolution (motorised) | 0.1° |