Манипулятор с 5 осями и LHe криостатом (замкнутый цикл, 20K)
Описание
Манипулятор с гелиевым криостатом является гибкой системой с замкнутым циклом, имеющей множество применений в исследованиях в условиях сверхвысокого вакуума. Манипулятор может быть оборудован Z слайдером, XY столиком или вращающимся механизмом с дифференциальной откачкой. Модульная конструкция позволяет модифицировать или заменять различные компоненты системы. Стандартный крепительный фланец DN 100CF.
Применение
Манипуляторы используются для позиционирования держателей образцов и других инструментов с возможностью быстрого охлаждения небольших образцов (~2x2x0.3 мм). Использование данных манипуляторов с держателями образцов позволяет осуществлять точное позиционирование и управление образцами в условиях сверхвысокого вакуума. Работа в любой ориентации.
Дополнительная информация
Манипуляторы оборудованы приемными станциями образцов, работающими с держателями образцов серии PTS. Все оси манипулятора могут быть моторизованы. Головки криостатов закрытого цикла производятся компанией Advanced Research Systems, Inc.
Технические характеристики
| Positional control X, Y | Micrometeror stepper motor |
| Positional control Z | Handwheelor stepper motor |
| Positional control R1 | Stepper motor |
| Positional control R3 | Stepper motor |
| Pressure range: | 1 bar to 10-11mbar |
| Sample cooling temperature | down to 20K |
| Operating temperature | -25°C to +60°C |
| Bakeout temperature | 150°C |
| Standard base flange | DN 100CF or DN 160CF |
| XY range | ± 12.5 mm |
| Resolution (manual/motorised) | 5 μm / 1 μm |
| Z range | 75 - 200 mm |
| Resolution (manual/motorised) | 500 μm / standard 10 μm (1 μm on request) |
| R1 range | ± 180° |
| Resolution (motorised) | 0.1° |
| R3 Range | -10 ÷ +90° |
| Resolution (motorised) | 0.1° |