Электронно-лучевой испаритель EBV 40A1
Описание
Испаритель EBV 40A1 с электронным лучом разработан для генерации однослойных и многослойных тонких пленок с помощью метода эпитаксиального выращивания. Точная настройка испарителя обеспечивает ровное осаждение образца. Область осаждение определяется дистанцией от ЭЛ испарителя до образца и выбором одной из легкозаменяемых выходных апертур. Испаритель EBV 40A1 с электронным лучом поставляется как с механической, так и с автоматической задвижкой.
Особенности
- Механическая или электронно-пневматическая задвижка, встроенный PID мониторинг потока
- Широкий диапазон заменяемых выходных апертур
- Водное охлаждение с множеством каналов
- Совместим с различными материалами
- Уникальный и надежный дизайн
- Сверхвысокая плотность энергий
- Управление с помощью ПО
Опции
- Расширение ПО – возможно интеграция с RAPIDSE
- С/Без встроенной механической/электрической пневматической задвижки
- Линейное смещение
Технические характеристики
Power: |
|
Mounting flange: | Rotatable, DN 40CF |
Bakeout temperature: | Up to 250°C (fully bakeable) |
Water cooling: | Required |
Beam divergence | 4 – 19 mm |
Insertion length: | Min. 190 mm (other on request) OD: 35 mm |
Energy range: | 1 – 1500 eV |
Spot size: | Dependent on working distance |
Cathode type: | Thoriated Tungsten |
Temperature range: | 160°C – 2300°C (3300°C for molybdenum connector) |
Filament current: | Typically 1,8 - 2,2 A, max 2,3 A |
Evaporating rod diameter: | 2 - 6 mm ; step 2 mm, wire feed 25 mm wire lengh 45 mm |
crucible type | Knudsen cell type made from: Mo, W, liner PBN, Al2O3 |
Crucibles volume: | 0,07 ml |
Evaporated materials | All typical materials according to crucible type |
Exit aperture diameters | Set 1: ID 4, ID 6, ID 7.4 (standard) Set 2: ID 10, ID 14, ID 19 |
others |
|