Электронно-лучевой испаритель EBV 40A1

 

Electron_beam_evaporator_EBV_40A1

Описание

Испаритель EBV 40A1 с электронным лучом разработан для генерации однослойных и многослойных тонких пленок с помощью метода эпитаксиального выращивания. Точная настройка испарителя обеспечивает ровное осаждение образца. Область осаждение определяется дистанцией от ЭЛ испарителя до образца и выбором одной из легкозаменяемых выходных апертур. Испаритель EBV 40A1 с электронным лучом поставляется как с механической, так и с автоматической задвижкой.

Особенности

  • Механическая или электронно-пневматическая задвижка, встроенный PID мониторинг потока
  • Широкий диапазон заменяемых выходных апертур
  • Водное охлаждение с множеством каналов
  • Совместим с различными материалами
  • Уникальный и надежный дизайн
  • Сверхвысокая плотность энергий
  • Управление с помощью ПО

Опции

  • Расширение ПО – возможно интеграция с RAPIDSE
  • С/Без встроенной механической/электрической пневматической задвижки
  • Линейное смещение

 

Технические характеристики

Power:
  • 50 W for high vapor pressure materials
  • up to 200 W for crucibles and thick wires
Mounting flange: Rotatable, DN 40CF  
Bakeout temperature: Up to 250°C (fully bakeable)
Water cooling: Required
Beam divergence 4 – 19 mm  
Insertion length: Min. 190 mm (other on request) OD: 35 mm
Energy range: 1 – 1500 eV
Spot size: Dependent on working distance
Cathode type: Thoriated Tungsten
Temperature range:   160°C – 2300°C (3300°C for molybdenum connector)
Filament current:   Typically 1,8 - 2,2 A, max 2,3 A
Evaporating rod diameter:   2 - 6 mm ; step 2 mm, wire feed 25 mm wire lengh 45 mm  
crucible type Knudsen cell type made from: Mo, W, liner PBN, Al2O3  
Crucibles volume:   0,07 ml
Evaporated materials All typical materials according to crucible type
Exit aperture diameters   Set 1: ID 4, ID 6, ID 7.4 (standard) Set 2: ID 10, ID 14, ID 19
others
  • Flux regulation via ion current incl. electrode, feedthrough, display unit and PID-regulator
  • Rear-loading evaporant