Загрузочные камеры

Применение

Загрузочные камеры обеспечивают быстрое и точное введение образцов UHVсистемы.

Спецификация

Загрузочные камеры могут располагаться в различных частях UHVсистемы, таких как камера радиального распределения образцов (прямое подсоединение), на линии блока передачи или перчаточной камере. Наш стандартный диапазон загрузочных камер подходит для большинства позиций и применений, однако, мы также можем изготовить камеру под определенные задачи заказчика. Загрузочные камеры обычно оборудованы:

1) Механизм загрузочной камеры

2) Насосная система

3) Иллюминаторы

4) Измерители давления

Верхний порт механизма загрузочной камеры обычно запечатан витоновым уплотнителем. Камеры оборудованы соединительными фланцами и дополнительными портами под будущие требования. Они разработаны для базовых давлений между 1x10-7 мбар и 1x10-9 мбар. Также, существует ряд опциональных дополнений, например, LN2 охлаждение или нагрев образцов до 600°C.