Держатель образцов PTS QUARTZ

Описание

Держатель образцов PTS QUARTZ оборудован встроенным кварцевым резонатором для измерения уровня осаждения. Ключевой особенностью данного держателя является возможность калибровки всех испарителей с помощью того же кварцевого кристалла. В дополнение, держатель образцов может проводить измерения в нескольких камерах в соответствующих UHV системах, устраняя необходимость в установке отдельных кварцевых резонаторов в каждой камере. Держатель совместим со стандартными приемными станциями PTS.

Применение

Калибровка испарителей