Сверхвысоковакуумная система PV010

Описание

Адаптируемая к требованиям заказчика многокамерная сверхвысоковакуумная система для исследования физических и химических свойств металлических поверхностей.

Спецификации

Многокамерная система с линейной системой транспортировки образцов. Состоит из аналитической камеры и подготовительной камеры, выполняющей функции транспорта образцов в условиях сверхвысокого вакуума (давление менее 10-10мБар). Базовое давление в аналитических камерах <5*10-11мБар. Каталитические реакции могут осуществляться при давлении до 2000 мБар с быстрой откачкой и перемещением образца в аналитическую камеру.

Сферическая многофункциональная аналитическая камера позволяет использовать различные методы анализа поверхности: монохроматическая рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (MXPS), монохроматическая ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия (UPS) и фотоэлектронная эмиссионная микроскопия (PEEM). Позиционирование образцов осуществляется стабильным высокоточным 5-осевым манипулятором с 2 моторизированными поворотными осями для автоматической регистрации угловых данных.  Приемная станция для образцов оснащена LN2 криостатом, который позволяет изменять температуру в диапазоне от -1800 С до 10000 С (в зависимости от модели держателя образца). Камера изготовлена из никелевого сплава и оснащена полусферическим анализатором с 2D детектором, монохроматическим источником рентгеновского излучения, источником УФ излучения, монохроматором и PEEM с разрешением 40 нм. Сверхвысоковакуумная система, использующая комбинацию турбомолекулярных насосов, ионных насосов и титановых сублимационных насосов. Камера анализа поверхности и камера приготовления образцов могут нагреваться независимо. Полусферический анализатор смонтирован в горизонтальной позиции. Сферическая подготовительная камера, смонтированная над аналитической камерой, оборудована ионным источником, масс-спектрометром, электронно-лучевым испарителем, газовым дозатором и несколькими портами расширения. Реактор высокого давления для нагрева образцов до 6500 С и охлаждения в контролируемой  газовой атмосфере с давлением до 2000 мБар. Камера хранения образцов с 6 держателями образцов. Загрузочный шлюз.