UHV SYSTEM PV014 - Сверхвысоковакуумная система PV014

Prevac_014_view

Описание

Адаптируемая к требованиям заказчика многокамерная сверхвысоковакуумная система для изготовления и исследования органических пленок (OLED).

Спецификации

Многокамерная система построена вокруг центральной камеры радиального распределения с присоединенной аналитической камерой и подготовительной камерой, выполняющей функции транспорта образцов в условиях сверхвысокого вакуума (давление менее 10-10мБар). Очень быстрое и надежное перемещение образцов необходимо, поскольку некоторые пленки могут существовать только при низких температурах. Базовое давление в аналитических камерах <1*10-10мБар.

  • Многофункциональная аналитическая камера позволяет использовать различные методы анализа поверхности: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS), инверсная фотоэлектронная спектроскопия (IXPS), ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия (UPS) и спектроскопия характеристических потерь энергии электронами (EELS). Позиционирование образцов осуществляется стабильным высокоточным 4-осевым манипулятором.  Приемная станция для образцов оснащена LN2 криостатом, который позволяет изменять температуру в диапазоне от -1800 С до 10000 С (в зависимости от модели держателя образца). Камера изготовлена из никелевого сплава и оснащена полусферическим анализатором, источником рентгеновского излучения, источником УФ излучения, источник электронов низкой энергии. Гибкая конструкция позволяет легко модифицировать установку в соответствии с будущими научными задачами.
  • Камера переменной температуры STM/AFM доступна через камеру ре-ориентации, присоединенную непосредственно к камере распределения.
  • Камера для инфракрасной спектроскопии (FT-IR) с коммерческим ИК-спектрометром, который также может использоваться в качестве отдельного прибора. Образец может быть нагрет и охлажден во время проведения измерений. Также камера может быть оснащена электронно-лучевым испарителем для подготовки образцов на месте.
  • Трехуровневая подготовительная камера, оборудованная LEED, TDS, ионным источником, электронно-лучевым испарителем, ячейками Кнудсена и большим числом портов, которые могут быть использованы для дальнейшего расширения возможностей установки
  • Одноуровневая подготовительная камера, оборудованная ионным источником и несколькими портами, которые могут быть использованы для дальнейшего расширения возможностей установки
  • Загрузочный шлюз с отсоединяемым перчаточным ящиком для упрощения загрузки образцов и их подготовки в атмосфере с пониженным содержанием кислорода и влажностью.