XYZ мини манипулятор
Описание
XYZ мини манипулятор является точным и стабильным механизмом перемещения образцов в условиях сверхвысокого вакуума по осям X,Yи Z. Стандартный крепительный фланец DN 63CF, стандартный фланец перемещения DN 40CF.Все три оси объединены в одном миниатюрном столике, обеспечивающем высокую эффективность по очень низкой цене. Работа в любой ориентации.
Применение
XYZ мини манипулятор разработан для обеспечения простоты и удобства работы. Перемещение по осям Xи Y +/- 12.5 мм, в зависимости от использующихся комплектующих. Движение по оси Z - 75-250 мм, в зависимости от типа применения.
Дополнительная информация
Возможна моторизация только оси Z.
Технические характеристики
Positional control X, Y | Micrometer |
Positional control Z | Handwheel |
Bakeout temperature | 150°C |
Mounting flange | DN 63CF or DN 100CF |
Travelling flange | DN 40CF |
XY range | ±12.5 mm |
Resolution | 5 μm |
Repeatability | 5 μm |
Z range | 75 - 200 mm |
Resolution Z (manual) | 0.05 mm |