Компания PREVAC

Ультравысоковакуумные и высоковакуумные системы

Манипуляторы, гониометры и механические вводы 

Камеры и механизмы

•  XY–Подиумы (перемещаемые в плоскости) 
• Z–Подиумы (перемещаемые в одном направлении) 
• XYZ–Манипуляторы 
• Манипуляторы с многими степенями свободы 
• Манипуляторы с вращением 
• Моторизирование всех модулей 
• Механизмы линейного перемещения 
• Вводы вращения 
• Линейные вводы 
• Вводы вращения с дифференциальной откачкой 
• Вводы для манипулирования с пространственным шарниром типа "Wobble Stick" 
• Гониометры

• Камеры для анализа 
• Камеры для приготовления образцов 
• Камеры шлюзования держателей образцов 
• Камеры-магазины держателей образцов 
• Камеры для радиального распределения держателей образцов 
• Реакторы высокого давления 
• Камеры для скола образцов 
• Камеры для переориентации направления транспортировки держателей образцов 
• Линейный транспортеры держателей образцов 
• Вакуумные камеры для транспортировки держателей образцов

Держатели образцов

Инструменты

Аксессуары

• PTS STANDARD держатель для упрощенного монтажа образцов 
• PTS 1000 H/C держатель с нагревом вплоть до 1000 град. и охлаждением до -170 град. 
• PTS 1200 H/C держатель с нагревом вплоть до 1200 град. и охлаждением до – 180 град. 
• PTS 2000 H держатель с нагревом вплоть до 2000 град. 
• PTS HPC H/C держатель для камер высокого давления (реакторов) 
• PTS CLEAV H/C держатель для скола образцов 
• PTS-QUARTZ держатель с интегрированным кварцевым резонатором для контроля толщин напыляемых материалов 
• PTS FARA держатель с устройством для измерения ионных токов типа „Faraday Cup“ 
• PTS 1000 OMC H адаптер для держателя фирмы Омикрон 
• (с нагревом и охлаждением образцов) 
• PTS TRANS H/C держатель для оптической трансмиссионной спектроскопии 
• (инфракрасной и ультрафиолетовой) 
• PTS MANIP держатель с интегрированным XYZ – пьезоманипулятором

• Анализаторы энергий электронов типа цилиндрического зеркала 
• Термодесорбционные спектроскометры 
• Источники ионов 
• Источники электронов 
• Источники для компенсации поверхностного заряда 
• Электронно лучевые испарители 
• Эффузионные ячейки 
• Рентгеновские источники 
• Кварцевые осцилляторы  

• Вакуумные КФ-соединения (быстрого монтажа с эластичными прокладками) 
• Сверхвысоковакуумные ЦФ-соединения (болтовые соединения клин-клин с металлическими прокладками типа ContFlat) 
• Электрические вводы 
• Вводы напуска 
• Принадлежности для отжига 
• Компоненты для шлюзовых камер 
• Титановые сублимационные насосы и охлаждаемые жидким азотом поверхности 
• Вакуумные люки 
• Шторки 
• Системы контроля массового потока газов 
• Устройства водяного охлаждения   

Электроника

Программное обеспечение

Сервис

• Устройства управления мощностью 
• Устройства управления отжигом 
• Блоки питания для источника электронов 
• Блоки питания для источника ионов 
• Блоки питания для электронно лучевого испарителя 
• Блоки питания для нагревания образцов 
• Блоки питания для титановых сублимационных насосов 
• Регуляторы эмиссии 
• Устройства управления шаговым электродвигателем 
• Устройства измерения давления     

• Приложение для контроля манипулятором 
• Приложение для контроля термодесорбционной спектроскопией 
• Приложение для контроля давлением 
• Приложение для управления контроллером температуры фирмы «Евротерм» 
• Автоматизация систем транспортировки образцов 
• Графический пользовательский интерфейс для устройств контроля вакуумных процессов – наглядный, легкий в обслуживании и контроле 
• Специализированное программное обеспечение для систем и компонентов заказчика 
• Системы контролирования вакуумного процесса 
• Приложения для получения времяпролетных характеристик (Time of Flight)     

• Проектирование вакуумных установок и компонентов 
• Ремонт вакуумных насосов и гелиевых течеискателей 
• Отыскание течей 
• Вакуумный отжиг вакуумных компонентов 
• Вакуумное напыление 
• Тренинг по вакуумным технологиям