UHV SYSTEM PV093 - Сверхвысоковакуумная система PV093

Описание

Многофункциональная сверхвысоковакуумная система для следующих исследований:

• Взаимодействие электронов и фотонов с атомами, молекулами и кластерами от (сверхзвуковых) пересекающихся молекулярных пучков
• Различные разряды
• Взаимодействие ускоренных атомов, молекул и заряженных частиц с поверхностями
• Процессы сорбции/десорбции
• Напыление тонких пленок
• Определение геометрии, структуры, состава и свойств тонких пленок

Спецификации

Система передачи образцов из каждой камеры в аналитическую камеру, позволяющую проводить исследования методами электронной спектроскопии (оже-, XPS, UPS)

Промежуточная камера (IC):

• Ионная оптика для TOF масс-спектрометра
• Сапфировые окна
• Электронная пушка
• Система передачи образцов из промежуточной камеры в аналитическую камеру
• Эффузионный элемент для тонких пленок
• Ионная пушка (для очистки поверхности образца)