Контроллер толщины слоя TMC13


Thickness_Monitors_Controller_TMC-13

Описание

TMC13 является электронным устройством нового поколения, позволяющий наблюдать и контролировать толщину слоя покрытия и напыления. 6 входящих каналов и два дополнительных канала для вакуумных измерений делает это устройство поистине уникальным и универсальным. Высокая скорость и точность рабочих процессов управляется с помощью DSP процессора.

Особенности

  • 6 каналов
  • Широкий сенсорный дисплей
  • Интуитивный интерфейс с поддержкой множества языков
  • Компактный дизайн
  • 2 входящих канала для вакуумных измерений
  • До 8 заслонок
  • 2 программируемых выходных канала для мониторинга толщины слоя с 16 битным разрешением
  • Интерфейсы RS232/485, Ethernet IP
  • Частотность 0.1 Hz (для TM13) или 0.01 Hz (для TM14)
  • Смена материала одним движением
  • Специальная категория для часто используемых материалов
  • Смена устройств одним движением
  • Сохранение индивидуального профиля пользователя
  • Встроенные видео инструкции

Технические характеристики

Supply voltage 100 - 240VAC 50/60HZ 2.2A
User interface TFT LCD 6.5", 400x240px with integrated touch panel
Communication Interface  RS232/485, EtherNet/IP, USB, Bluetooth
Dimensions [mm] W: 212.6 mm (42HP), H: 128.4 mm (3HU), D: 260.9 mm
TM sensor inputs  6
Thickness 0 - 9999000 Å
Rate 0 - 9999 Å/s
Frequency resolution 0.1 Hz (for TM13), 0.01 Hz (for TM14)
Frequency Range 2-6 MHz
Thickness Resolution 0.1 Å
Rate Resolution 0.1 Å/s
Tooling Factor 1 - 400%
Measurement units Å, kÅ, nm
Measurement period 0.25 s
Shutter control manual, time, thickness
Shutter Time 1 - 1000000 s
Shutter Thickness 0 - 9999000 Å
Pressure channels inputs 2
Compatible sensors ITR90, ITR100, PTR90/225/237, CTR90/91, TTR90, TTR211/216, MKS 870B Baratron and PG105
Measurement units mbar, Pa, Torr, Psia
Degas Time 1 - 3 min
Output

• 8 relay outputs (2 outputs with COM NC and NO contacts,

6 outputs with COM and NO contacts)

• 2 analog outputs: 0-10V (thickness, rate, pressure)
Inputs 4 digital inputs (in 5V logic)
Operating temperature 15 - 40°C
Weight, approx 3 kg