Устройство перемещения по оси Z
Описание
Перемещение осуществляется с помощью трех основных винтов, синхронно приводимых в движение механизмом. Также, присутствует возможность ручного управления перемещением.
Применение
Данное устройство используется для точного перемещения тяжелых объектов в/из вакуумной системы. Оно подходит для таких задач, как ввоз и вывоз оборудования из мест с ограниченным пространством.
Дополнительная информация
Данные устройства часто интегрируются с XY столиками. Устройство предназначено для осуществления вертикального перемещения груза. Устройство моторизовано и контролируется с помощью SMCD10. Перемещения регулируются с помощью манипуляторов и программного обеспечения Prevac.
Технические характеристики
Bakeout temperature | 150°C |
Travelling flange | DN 100CF or DN 160CF |
Standard base flange | DN 100CF or DN 160CF |
Z motion control | Handwheel or stepper motor |
Z range | 50 - 300 mm |
Resolution (manual/motorised) |
500 μm / standard 10 μm (1 μm on request) |