Манипулятор с 6 осями
Описание
Манипулятор с 6 осями обладает высокой точностью и устойчивостью, имеет модульную конструкцию и совместим с диапазоном перемещений по осям X, Y, Z, вращением R1, R2, R3. Модульная конструкция подразумевает возможность замены или модификации отдельных компонентов системы.
Применение
Манипуляторы с 6 осями используются для управления держателями образцов и сопутствующими инструментами. Использование манипуляторов вместе с держателями образцов позволяет осуществлять точное позиционирование и контроль образцов в условиях сверхвысокого вакуума. Манипуляторы обеспечивают передвижение образца по осям X,Y,Z, а механизмы вращения – вращение R1, R2 и R3 вокруг осей Z и Y. Работа в любой ориентации.
Дополнительная информация
Манипуляторы с 6 осями имеют приемную станцию образцов, принимающую один из диапазонов моделей PTSдержателей образцов. Станция оборудована 6 электрическими контактами.
Технические характеристики
| Positional control X, Y | Micrometer or stepper motor |
| Positional control Z | Handwheel or stepper motor |
| Positional control R1 | Stepper motor |
| Positional control R2 | Stepper motor |
| Positional control R3 | Stepper motor |
| Pressure range: | 1 bar to 10-11mbar |
| Operating temperature | -25°C to +60°C |
| Bakeout temperature | 150°C |
| Standard base flange | DN 160CF |
| XY range | ± 8.0 mm |
| Resolution (manual/motorised) | 5 μm / 1 μm |
| Z range | up to 500 mm |
| Resolution (manual/motorised) | 1 mm / standard 10 μm(1 μm on request) |
| R1 range | ± 180° or 360° |
| Resolution (motorised) | 0.1° |
| R2 range | 360° - continuous |
| Resolution (motorised) | 0.1° |
| R3 Range | -10° to 10° |
| Resolution (motorised) | 0.1° |